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技术参数（机械部分）XY扫描器：100μm×100μm（闭环），可选配200μm×200μm（闭环）Z扫描器：12μm (可选配25μm)水平度：100μm线扫描垂直偏差不超过±2nmXY和Z扫描器的正交性：1.0°样品台移动范围：

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技术参数(机械部分)：1.  XY扫描器：100μm×100μm（闭环），可选配200μm×200 μm2.  Z扫描器：12μm (可选配25μm)3.  水平度：50μm线扫描垂直偏差不超过2nm4.  XY和Z扫描器的正交性：1.0°5.

技术参数(机械部分)：1. XY扫描器：50μm×50μm（闭环），可选配100μm×100 μm（闭环）2. Z扫描器：12μm (可选配25μm)3. 水平度：50μm线扫描垂直偏差不超过1nm4.  XY和Z扫描器的正交性：1.0°5. 样品

技术参数(机械部分)：1. XY扫描器：50μm×50μm（闭环），可选配100μm×100 μm（闭环）2. Z扫描器：12μm (可选配25μm)3. 水平度：50μm线扫描垂直偏差不超过1nm4. XY和Z扫描器的正交性：1.0o5. 样品台移动

技术参数(机械部分）：1. XY扫描器：100μm×100μm（闭环）2. Z扫描器： 25μm3. 水平度：100μm线扫描垂直偏差不超过2nm4. 样品台移动范围：10mm（X/Y），14mm (Z)5. 成像方法：离子电导ICM（液态环境）和

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