- 品牌：进口
- 型号：MIRA 3 LMH
- 监管：
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- 产品名称：肖特基场发射扫描电镜 MIRA 3 LMH
- 结构组成：
- 适用范围：
- 温馨提示：
- 1.肖特基场发射扫描电镜 MIRA 3 LMH可能含有禁忌内容或者注意事项，具体详见说明书；
- 2.购买肖特基场发射扫描电镜 MIRA 3 LMH，消费者应仔细阅读产品说明书或者在医务人员的指导下购买和使用。
分辨率 高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) | 1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV) / |
工作真空 高真空 低真空 枪体真空 | <5×10-4Pa / <3×10-7Pa |
电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 | 3.5×-1,000,000×连续可调 |
加速电压 | 200V至30KV |
电子枪 | 高亮度肖特基 |
探针电流 | 2pA至100nA |
扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 |
聚焦窗口 | 大小和位置连续可调 |
扫描特性 | 动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像 |
图象尺寸 | *大可达8192×8192像素，图象比例可选1：1、4：3或2：1。 |
显微镜控制 | 通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VEGA TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
自动程序 | 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，*优化束斑大小和探针电流，*优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。 |
远程控制 | 通过TCP/IP |
样品室
内部尺寸 | Ф230mm |
门宽 | 148mm |
接口数量 | 11+ |
样品室减振方式 | 内置气垫（可选配内置主动式电磁减振） |
+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。
样品载台
类型 | 全电脑化优中心 |
移动范围 | 全马达驱动控制方式: X=80mm－－马达驱动 Y=60mm－－马达驱动 Z=47mm－－马达驱动 旋转:360°连续可调－－马达驱动 倾斜:-80°到+80°－－马达驱动 |
样品高度 | *大81mm |
软件
标配：测量软件， 定位软件，图象处理，三维扫描，硬度测量，多图校正，投影面积，打印放大倍率，关机定时器，公差测量
选配：形态学，颗粒度分析，自动抓图，图象观测，电子束写入，鼠标连接